基于RP的MEMS设计制造技术Design and manufacturing technology of The MEMS Based on Rapid Prototyping
贾育秦,王培霞,阎献国
摘要(Abstract)：
在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。概述了MEMS设计存在的不足,介绍了与微器件再设计相关的基本材料信息库的建立与完善,借鉴虚拟制造的建模方法,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究。在此基础上建立网上微器件设计中心。
关键词(KeyWords)： 快速成形;微型机电系统;微细加工;微型工厂
基金项目(Foundation): 山西省自然科学基金资助项目(20021068)
作者(Author): 贾育秦,王培霞,阎献国
参考文献(References)：
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